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日 時
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平成23年9月16日（金） 13：30～17：00 |
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会 場
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京都大学・吉田キャンパス 工学部物理系校舎3階315講義室 (京都市左京区吉田本町36-1) |
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講演内容
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先進プラズマプロセスを用いた表面技術のイノベーション |
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名古屋大学大学院工学研究科 教授 堀 勝氏 |
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プラズマプロセスは、大規模集積回路や太陽電池をはじめ全産業を支える基幹科
学技術である。最近では、多様な表面処理を大気圧下で高速に実現できる新しい
プラズマ技術も開発されている。本講演では、先進プラズマプロセスの基礎から
応用を解説し、その表面技術へのイノベーションを紹介する。 |
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ロールツーロールによる真空成膜技術 |
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（株）神戸製鋼所 商品開発部高機能Gr. 玉垣 浩氏 |
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近年タッチパネルの普及やフィルムを基板にしたディスプレイや太陽電池の開発
のニュースが流れる中、ロールツーロール成膜への興味が高まっている。
本講演ではロールツーロール成膜手法の概要紹介に続き、弊社での取組を中心に、
透明導電膜形成とバリア膜の形成技術・装置の紹介を行う。 |
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スパッタリング法によるＰＥＴフィルム上への酸化亜鉛透明導電膜の作製 |
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尾池工業（株） フロンティアセンター 檜木 利雄氏 |
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ＲＦプラズマアシストスパッタリング法によるガラス基板上ＧＺＯ透明導電膜の
比抵抗分布、耐湿熱性改善について述べるとともに、ＰＥＴフィルム上ＧＺＯ膜
の有機バッファー層による耐湿熱性改善、およびRoll to Rollでの長尺フィルム
の作製を試みた結果について紹介する。 |
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参加費
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3,000円（テキスト代消費税を含む）、学生会員無料
（ただし、材料機能ドライプロセス部会員の方は1社2名までテキストも無料） |
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| 申込方法 |
参加希望の方は「合同研究会参加希望」と題記し、氏名・勤務先・
所在地・電話番号またはメールアドレスを明記の上、 FAXまたは
メールにて下記宛までお申込みください。
折り返し参加券、会場案内図、参加費の請求書をお送りします。
普段と申し込み方法が異なるのでご注意ください |
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申 込 先
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(一社)表面技術協会 本部 FAX：03-3252-3288 |
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